高分辨率蓝光光学显微测量系统

被引：12

作者：

张东玲

贺锋涛

冯晓强

侯洵

机构：

[1] 河南大学物理与信息光电子学院

[2] 中科院西安光学精密机械研究所瞬态光学技术国家重点实验室

[3] 河南大学物理与信息光电子学院河南开封中科院西安光学精密机械研究所瞬态光学技术国家重点实验室陕西西安

[4] 陕西西安

[5] 河南开封中科院西安光学精密机械研究所瞬态光学技术国家重点实验室陕西西安

来源：

应用光学 | 2005年 / 03期

关键词：

光学显微镜; CCD图像传感器; 蓝色发光二极管; 分辨率; 显微测量;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH74 [光学仪器];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

本系统用波长为405nm的超亮度蓝色发光二极管作为光学显微镜的照明光源,结合CCD图像传感技术和图像采集技术,实现了对显微图像的实时观察和存取的计算机化。观察到的DVD盘片的清晰显微图像表明,其光学分辨率优于400nm。运用自编的图像分析软件对采集到的CD-RW光盘图像进行分析和标定,测定其道间距为1.6μm。因此,本系统在显微观测领域,特别是对观测和分析接近普通光学显微镜分辨极限尺寸的微结构,有重要的实用价值。

引用

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