凸二次非球面反射镜的自准法检验

被引:6
作者
沈正祥
郝沛明
赵文才
李可新
王鹏
机构
[1] 同济大学物理系非球面光学实验室
[2] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
[3] 同济大学物理系非球面光学实验室 上海
[4] 上海
[5] 吉林长春
关键词
光学检验; 凸非球面; 自准法检验; 三级像差理论; 精度分析;
D O I
暂无
中图分类号
TH74 [光学仪器];
学科分类号
0803 ;
摘要
在反射光学系统中大多采用凸非球面,但凸非球面的加工和检验一直是比较困难的问题。利用透射凸二次非球面具有自消像差的能力,从三级像差理论出发,提出了凸二次非球面的透射式自准检验和反射式自准检验两种方案,解决了采用Hindle球检验口径过大的问题。以某型号准600R蛳C系统的凸次镜为例,分析了加工过程中的检验精度,并和Hindle球检验方法进行比较。结果表明,凸非球面的自准检验是一种切实可行的高精度检验方法。
引用
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