未找到相关数据
光学干涉波面数字化处理方法与应用
被引：6
作者：
莫卫东
机构：
[1] 空军工程大学工程学院陕西西安
来源：
关键词：
数字化干涉波面;
误差分析;
Zernike多项式拟合;
精度评价;
D O I：
10.19596/j.cnki.1001-246x.2003.06.007
中图分类号：
O436.1 [干涉与衍射];
学科分类号：
070207 ;
0803 ;
摘要：
全面论述了激光数字平面检测系统中的核心技术———干涉波面数字化分析理论和处理方法,对光学干涉波面的拟合函数系的选择、拟合算法以及系统像差和被测表面平面误差类型判定方法进行了深入研究,提出了在"Zernike像差空间"确定激光数字平面检测系统精度的理论和方法.
引用
收藏
页码：514 / 520
页数：7
相关论文