硅谐振式压力微传感器闭环系统

被引：10

作者：

李海娟

周浩敏

机构：

[1] 北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院

来源：

北京航空航天大学学报 | 2005年 / 03期

关键词：

传感器; 闭环控制系统; 锁相环; 谐振式;

D O I：

10.13700/j.bh.1001-5965.2005.03.015

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

硅谐振压力微传感器在自激振荡回路中采取电阻热激励、电阻拾振时得到的信号 ,由于有用信号本身的量级小 ,因而含有严重的同频干扰信号 (耦合激励信号 ) ,信噪比SNR (SignalNoiseRatio)仅为 1 0 - 3数量级 .为了提高信噪比 ,滤除同频干扰 ,多级放大之后的处理中将锁相环PLL (Phase-LockedLoop)工作原理和分频技术相结合 ,由锁相环输出作为传感器的激励和鉴相相关信号 ,搭建硅谐振压力微传感器闭环自激振荡回路 .结果表明 :采用锁相分频技术的微传感器闭环系统能可靠运行 ,信噪比低的问题得到了很好解决

引用

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