等离子体的Langmuir探针诊断及数值滤波

被引：7

作者：

池凌飞

林揆训

林璇英

余云鹏

余楚迎

机构：

[1] 汕头大学物理系!广东汕头

来源：

关键词：

调谐单探针; 射频辉光放电; 数值滤波;

D O I：

10.13385/j.cnki.vacuum.1999.06.005

中图分类号：

TL65 [等离子体诊断（测量）];

学科分类号：

082701 ;

摘要：

Ｌａｎｇｍｕｉｒ探针是诊断等离子体荷电粒子参数的重要手段。本文首次报道了用加热的调谐探针，在抑制了对探针的射频干扰和“中毒效应”之后，对探针Ｉ－Ｖ曲线的统计涨落噪声进行了数字滤波的光滑化处理，获得了射频辉光放电硅烷等离子体的电子能量分布函数，平均能量（温度）和浓度等重要参数。

引用

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