下世纪初微电子机械系统的发展

被引：4

作者：

李栓庆

机构：

[1] 电子工业部第十三研究所

来源：

关键词：

本体微机械加工,表面微机械加工,微电子机械系统,传感器,执行器;

D O I：

10.13250/j.cnki.wndz.1997.02.002

中图分类号：

TH16 [机械制造工艺];

学科分类号：

摘要：

介绍了微电子机械系统的四种基本制作技术，即本体微机械加工、表面微机械加工、铸模工艺和晶片键合工艺。重点讨论了实现微系统突破的集成工艺技术。最后简单概述了传感器、执行器和微电子机械系统的发展现状

引用

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