原子力显微镜在纳米粗糙度测量中的应用

被引：12

作者：

陈英飞

章海军

张冬仙

机构：

[1] 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室

[2] 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室浙江杭州

[3] 浙江杭州

来源：

关键词：

原子力显微镜; 纳米; 粗糙度;

D O I：

暂无

中图分类号：

O488 [介观物理];

学科分类号：

070205 ; 0805 ; 080502 ; 0809 ;

摘要：

介绍了用于纳米量级表面粗糙度测量的原子力显微系统。着重讨论了实现这种测量的软件实现方法。实验结果表明 ,该系统可以测量任意横向或纵向截面的线粗糙度 ,同时还可以测量任一区域的面粗糙度 ,并且在 X、Y、Z三个方向上的表面粗糙度测量精度均已达到纳米量级 ,完全满足纳米尺度形貌研究要求

引用

页码：25 / 29

页数：5