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超精密加工精度分析
被引：16
作者：
戴一帆
李圣怡
机构：
[1] 长沙市国防科技大学!长沙市
来源：
关键词：
超精密加工;
误差补偿;
加工精度;
机床;
D O I：
暂无
中图分类号：
TH161 [机械加工精度理论];
学科分类号：
0802 ;
摘要：
介绍超精密加工技术概要；从加工精度角度出发分析超精密加工技术国内外动态及今后发展的目标；探讨进一步提高主轴和导轨运动精度以及微进给和超精密测量精度等的可能性和关键技术问题；展望超精密加工技术在微细加工领域的发展前景。
引用
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页码：203 / 206+243
页数：5
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