位移精密测量技术的研究

被引:2
作者
邾继贵,吕海宝,漆新民
机构
[1] 国防科技大学机械电子工程与仪器系
关键词
全息光栅;位移测量;误差分析;
D O I
暂无
中图分类号
TH741.6 [];
学科分类号
0803 ;
摘要
理论上分析了一种利用全息光栅作为传感器的光电检测方法;从应用角度出发给出了检测光路结构,并进行了详细的误差分析,这种方法具有结构简单,精度高等优点。
引用
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