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显微精密成像与微型机械尺寸检测技术
被引：29
作者：
王向军
王峰
机构：
[1] 天津大学精密仪器与光电子工程学院天津大学测试计量技术及仪器国家重点实验室
来源：
关键词：
视觉计量;
微电机械系统;
纳米基准;
D O I：
暂无
中图分类号：
TH742 [显微镜];
学科分类号：
摘要：
讨论了利用半导体或纳米制备技术和手段提供的物理空间晶格作为显微成像基准 ,对显微视觉成像系统的四维空间畸变进行提取、修正和实时标定 ,以实现视觉检测系统的精密数字成像 ,为微机械量、微几何量提供检测、评价和计量手段。对若干问题进行了详细的讨论 ,显微视觉检测是微机械量微几何量计量中最有效的方法之一 ,而精密数字成像是必须解决的问题之一。研究精密数字成像是视觉检测技术向微观检测领域发展所必须解决的科研课题。对微机械量和微几何量计量有重要意义
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