基于针孔阵列的多光束共焦三维测量系统

被引：6

作者：

孔兵

王昭

谭玉山

弥宁

机构：

[1] 西安交通大学激光与红外应用研究所

[2] 西安交通大学激光与红外应用研究所西安

[3] 西安

来源：

中国激光 | 2002年 / 03期

关键词：

共焦测量; 针孔阵列; 三维轮廓; 误差标定;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN247 [光检测技术];

学科分类号：

0803 ; 080401 ; 080901 ;

摘要：

提出了一种基于 5 0 0× 5 0 0的针孔阵列的多光束共焦三维测量系统 ,该系统具有测量视场大 ,测量速度快 ,系统结构简单等特点

引用

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页数：4

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共 3 条

[1]

The fast 3D profile measurement using confocal microscopy and error analysis. Kong Bing,Wang Zhao,Tan Yushan et al. Acta Photonica Sinica (光子学报) . 2000

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The extendedfocus, auto-focus and surface-profiling techniques of confocal microscopy. C. J. R. Sheppard,H. J. Matthews. Journal of Modern Optics . 1986

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