用于光学表面检测的数字波面干涉仪

被引：4

作者：

董大年

杨国光

曹天宁

张跃进

机构：

[1] 浙江大学光学工程系,浙江大学光学工程系,浙江大学光学工程系,浙江大学光学工程系

来源：

关键词：

波面干涉仪; 光学表面; 位相分布; 位相检测技术; 条纹对比度; 干涉图;

D O I：

10.19650/j.cnki.cjsi.1987.03.005

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

本文讨论了最近研制成功的用于光学表面检测的数字波面干涉仪。利用实时位相检测技术可以高精度重构出数字波面,叙述了仪器的光学系统,电子学接口和软件。该仪器可测定光学平面和球面的面形,精度分别达到λ/40和λ/20,由终端输出面形的数据。

引用

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