单晶硅脆性材料塑性域超精密磨削加工的研究

对单晶硅脆性材料的超精密磨削加工作了大量的实验研究。研究结果表明，对于单晶硅等脆性材料，其表面粗糙度主要与砂轮的平均磨粒尺寸、进给量等因素有关。当采用超精密磨床并在Ｖｓ＝１２００ｍ／ｍｉｎ、 ｆ＝０～ ５００μｍ／ｒｅｖ、 ａｐ＝０.１～ １０μμｍ的磨削条件下磨削时，只有当金刚石砂轮的平均磨粒尺寸低于２０μｍ，才能在塑性磨削模式下加工出高质量的光滑表面，其磨削后的表面粗糙度为ｒｍｓ：５．１４ｎｍ、 Ｒａ：３．２５ｎｍ。