无衍射光莫尔条纹空间直线度测量的原理与实验

提出用无衍射光和莫尔条纹进行空间直线度测量的技术。无衍射光用作直线基准并照射在一环光栅上。由于无衍射光斑也是一系列环状条纹 ,因此光栅上将产生莫尔条纹。光栅固定在移动物体上 ,若运动轨迹偏离无衍射光的中心线 ,莫尔环就将发生偏离。莫尔环的偏离量数倍于光栅的偏离量 ,由此产生一放大的二维直线度信号。图像处理技术用于计算莫尔环的中心。理论和实验表明 ,该方法具有高灵敏度和抗激光漂移的优点。