共 1 条
[1]
微槽道气体流动的统计模拟
被引：19
作者：
谢翀
樊菁
沈青
机构：
[1] 中国科学院力学研究所高温气体动力学开放实验室,中国科学院力学研究所高温气体动力学开放实验室,中国科学院力学研究所高温气体动力学开放实验室北京,北京,北京
来源：
关键词：
微机电系统;
微槽道气流;
稀薄气体效应;
统计模拟;
直接模拟Monte Carlo方法;
D O I：
10.19596/j.cnki.1001-246x.2002.05.001
中图分类号：
O368 [应用流体力学];
学科分类号：
070301 [无机化学];
摘要：
利用基于分子模型的统计模拟方法———信息保存方法 (IP)统计模拟了实验条件下微槽道气体流动 ,仔细讨论了用IP方法模拟长槽道稀薄气流时遇到的问题 ,并给出了解决的方法 ,即采取守恒形式的控制方程避免质量流量计算误差积累 ,并利用超松弛方法使收敛过程加速 .将IP计算结果与压力分布和质量流量实验数据进行了比较 .
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页数：6
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