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n型6H-SiC体材料欧姆接触的制备附视频
被引：30
作者：
张玉明
罗晋生
张义门
机构：
[1] 西安交通大学微电子工程系!西安
[2] 西安电子科技大学微电子所!西安
来源：
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
TN304 [材料];
学科分类号：
080906 [电磁信息功能材料与结构];
摘要：
本文报道了采用Au／NiCr在n型6H－SiC体材料上制备欧姆接触的实验结果，依次蒸发NiCr合金（重量百分比为80％Ni：20％Cr）和金层，高温退火后形成欧姆接触，用改进的四探针法测得最小比接触电阻为8．4×10-5·cm2．达到了应用的要求．
引用
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页码：718 / 720
页数：3
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