谐振式SAW压力传感器敏感元件研究与设计

被引：9

作者：

何鹏举 ^{[1
]}

戴冠中 ^{[1
]}

陈明 ^{[1
]}

徐苛杰 ^{[2
]}

机构：

[1] 西北工业大学自动化学院

[2] 江西理工大学

来源：

传感技术学报 | 2006年 / 02期

关键词：

SAW压力传感器; 敏感片结构; 谐振器位置; 有限元;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

量程和温度特性是传感器的两个主要指标,SAW压力传感器的量程由基片材料的结构尺寸决定,温度效应一般采用双端对谐振器来消除,目前关于两个谐振器的位置确定还没有一个确定的方法。通过力学分析得出了圆形石英膜片的半径、厚度、和最大载荷的关系;对石英圆形膜片的应力应变关系进行了有限元数值计算,得出了正负应力在圆形石英膜片的分界点,为设计SAW谐振式压力传感器的物理结构和合理的安排谐振器的位置提供了依据。

引用

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