一种测量非球面面形的新方法

被引:1
作者
王海明
机构
[1] 应用光学国家重点实验室长春
关键词
光学检测; 衍射;
D O I
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中图分类号
学科分类号
摘要
本文发展了一种激光-CCD衍射谱分析系统,利用衍射谱位相恢复方法测量非球面光学件的面形。本文的方法不需要产生非球面参考波前,这就避免了通常干涉方法测量非球面的特殊困难。
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共 2 条
[1]   衍射谱位相恢复——一种测量波像差的新方法 [J].
王海明 ;
米航宇 .
中国激光, 1988, (11) :683-685
[2]   激光-CCD系统衍射谱分析法测量光学系统传递函数 [J].
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