共 2 条
一种测量非球面面形的新方法
被引:1
作者:
王海明
机构:
[1] 应用光学国家重点实验室长春
来源:
关键词:
光学检测;
衍射;
D O I:
暂无
中图分类号:
学科分类号:
摘要:
本文发展了一种激光-CCD衍射谱分析系统,利用衍射谱位相恢复方法测量非球面光学件的面形。本文的方法不需要产生非球面参考波前,这就避免了通常干涉方法测量非球面的特殊困难。
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