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六甲基二硅胺烷的等离子体聚合
被引：4
作者：
周坤粦
曹伟民
周瑞花
机构：
[1] 中国科学院成都有机化学研究所
[2] 中国科学院成都有机化学研究所 成都
[3] 成都
来源：
关键词：
等离子体聚合;
六甲基二硅胺烷;
沉积规律;
组成;
D O I：
10.15952/j.cnki.cjsc.1993.04.011
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
在室温和无添加气体条件下,完成了六甲基二硅胺烷较低功率密度的等寒子体聚合。研究了聚合膜的沉积规律和过程。给出了聚合物膜的结构和性质。得到经验式为 C1.42H2.65N0.2O0.15Si的新聚合物。
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页码：356 / 363
页数：8
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