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表面粗糙度测量的新方法
被引：4
作者：
张国雄
机构：
[1] 天津大学
来源：
关键词：
表面粗糙度测量;
激光器;
反射镜;
表面光洁度测量;
光激射器;
电子器件;
反光镜;
分光镜;
粒子束;
光束;
D O I：
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