压电晶体位移特性曲线干涉自动测量方法附视频

被引：6

作者：

朱日宏

王青

陈磊

陈进榜

机构：

[1] 南京理工大学电光学院

来源：

光子学报 | 1998年 / 02期

关键词：

干涉仪；压电陶瓷；快速傅里叶变换;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH744.3 [];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

本文提出了压电晶体（ＰＺＴ）位移物曲线自动干涉测量方法，该方法利用干涉仪把ＰＺＴ的微位移量转化成干涉条纹相位变化量，通过快速傅里叶变换（ＦＦＴ）方法自动复原干涉条纹中包含的相位的变化量，从而高精度地检测出ＰＺＴ的位移特性曲线根据该方法，利用ＣＣＤ摄象机、图象板和干涉仪组合成一套光、机、电一体化的微位移自动测试系统，实际测量了我们研制的ＰＺＴ随电压变化的位移特性曲线实验表明，该方法原理实现简单，且能实现高精度、自动、实时和动态测量

引用

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