单室沉积高效非晶硅/微晶硅叠层太阳电池的研究

被引：9

作者：

张晓丹

郑新霞

王光红

许盛之

岳强

林泉

魏长春

孙建

张德坤

熊绍珍

耿新华

赵颖

机构：

[1] 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室

来源：

物理学报 | 2010年 / 59卷 / 11期

关键词：

非晶硅/微晶硅叠层电池; 单室; 甚高频;

D O I：

暂无

中图分类号：

TM914.4 [太阳能电池];

学科分类号：

080502 ;

摘要：

采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术,在前期单室沉积的微晶硅薄膜太阳电池和非晶硅/微晶硅叠层太阳电池研究的基础上,通过对微晶硅底电池本征层硅烷浓度的优化,获得了初始效率达到11.02%(电池面积1.0cm2)的非晶硅/微晶硅叠层太阳电池.同时,100cm2的非晶硅/微晶硅叠层太阳电池的组件效率也达到了9.04%.

引用

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