微角度的光学测量

被引:19
作者
张彩妮
王向朝
机构
[1] 中国科学院上海光学精密机械研究所
关键词
微角度; 干涉; 转角; 全内反射; 位置探测光电二极管; 莫尔条纹;
D O I
10.16136/j.joel.2002.04.025
中图分类号
TP274 [数据处理、数据处理系统];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 080402 ; 081002 ; 0835 ;
摘要
综述了微角度的光学测量方法。就干涉法、自准直法和全内反射差动探测法等测量方法的原理及特点进行了讨论。给出了各方法的典型实验装置 ,讨论了各装置的特点及应用局限性 ,并对这些方法的进展进行了探讨
引用
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共 2 条
[1]  
High accuracy, wide range, rotation angle measurement by the use of two parallel interference patterns .2 X Dai,O Sasaki,J E Greivenkamp,et al. Appl .Opt . 1997
[2]  
Measurement of small rotation angles by using a parallel interference pattern .2 X Dai,O Sasaki,J E Greivenkamp,et al. Appl . Opt . 1995