KDP晶体光学零件超精密加工技术研究的新进展

被引:24
作者
王景贺
陈明君
董申
尚元江
机构
[1] 哈尔滨工业大学机电学院精密工程研究所
[2] 哈尔滨工业大学
关键词
KDP晶体; 单点金刚石切削; 超精密磨削; 磁流变抛光;
D O I
10.16567/j.cnki.1000-7008.2004.09.011
中图分类号
TG66 [特种加工机床及其加工];
学科分类号
摘要
KDP晶体作为优质的非线性光学材料 ,被广泛的应用于激光非线性光学领域。由于大型KDP晶体具有一系列不利于光学加工的特点 ,因此被公认为是最难加工的光学零件。本文概述了KDP晶体超精密磨削和磁流变抛光的加工方法 ,阐述了KDP晶体光学零件单点金刚石加工技术的研究现状 ,并详细地分析了单点金刚石切削加工时机床精度、加工工艺参数、装夹变形、晶格方向变化、金刚石刀具几何参数、冷却液等对加工表面质量 (平面度、表面粗糙度、小尺度波纹等 )的影响
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共 4 条
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