CVD反应器中成膜与成核竞争机制的实验研究

利用管式热化学气相淀积反应器,研究了化学气相淀积过程中成核与成膜的竞争机制。结果表明,增加反应器操作压力、提高反应温度和反应物浓度,有利于粒子的生成而不利于薄膜淀积。在反应器中,淀积薄膜的表面形态各不相同。