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TiO薄膜氧敏特性研究
被引:14
作者:
姚红军
汪荣昌
戎瑞芬
徐飞
金海岩
机构:
[1] 复旦大学材料科学系!上海,
来源:
关键词:
氧敏传感器;
Pt;
肖特基二极管;
硅二极管;
氧敏特性;
D O I:
暂无
中图分类号:
TP212 [发送器(变换器)、传感器];
学科分类号:
080202 ;
摘要:
金属氧化物(如ZrO2,TiO2等)随氧分压不同而改变其电导率这一性质被广泛地用来制作氧敏传感器.传统的传感器大多采用体材料或厚膜材料,工作时需加高温.本文描述了TiO2薄膜材料与Pt薄膜形成的肖特基势垒高度随氧分区不同而改变的氧敏现象,测定了该肖特基二极管的氧敏特性,讨论了其敏感机理.
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