激光等离子体光源软X射线反射率计

被引：6

作者：

陈波

尼启良

曹继红

机构：

[1] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林长春,应用光学国家重点实验室,吉林长春,应用光学国家重点实验室,吉林长春

来源：

光谱学与光谱分析 | 2005年 / 03期

关键词：

软X射线; 激光等离子体光源; 反射率计;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH744 [物理光学仪器];

学科分类号：

摘要：

介绍了所研制的激光等离子体光源软X射线反射率计 ,该反射率计由激光等离子体光源、掠入射光栅单色仪、样品室、真空系统、样品台、光电探测系统和计算机控制系统组成 ,工作波段 8～ 30nm ,测量样品的最大尺寸为 130mm× 12 0mm× 12 0mm(长×宽×高 ) ,可以利用这台反射率计对软X射线波段光栅、滤光片和多层膜反射镜等光学元件进行测量和评估。为检验反射率计的性能指标 ,利用该反射率计对本室研制的软X射线多层膜反射镜的反射率进行了测量 ,测量结果与理论计算结果符合较好 ,反射率测量重复性为± 0. 6 %。

引用

页码：453 / 455

页数：3

共 9 条

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