共 3 条
[2]
硅微机械加工技术.[M].黄庆安编著;.科学出版社.1996,
[3]
磁场测量.[M].毛振珑等编;.原子能出版社.1985,
微型隧道效应磁强计的设计和加工工艺研究
被引：4
作者：
朱俊华
周兆英
叶雄英
张大成
郝一龙
李婷
机构：
[1] 清华大学精密仪器系!北京
[2] 北京大学微电子学研究所!北京
来源：
关键词：
微机械;
磁强计;
隧道效应;
D O I：
暂无
中图分类号：
TP212 [发送器（变换器）、传感器];
学科分类号：
080202 ;
摘要：
介绍了一种新型的基于隧道效应的微型磁强计 ,对其关键工艺进行了分析和实验研究。利用薄片溶解工艺制作了大尺寸的薄膜 ( 3mm× 1mm) ,并且在薄膜的两面都制作了图形结构 ,拓展了微机械工艺的加工能力
引用
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