非平衡磁控溅射沉积MoS2-Ti复合薄膜结构与摩擦磨损性能研究

被引：25

作者：

周晖 ^{[1
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温庆平 ^{[2
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郝宏 ^{[2
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谭立 ^{[2
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王长胜 ^{[2
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薛德胜 ^{[1
]}

机构：

[1] 兰州大学磁学与磁性材料教育部重点实验室

[2] 兰州物理研究所空间机械润滑中心

来源：

摩擦学学报 | 2006年 / 02期

关键词：

非平衡磁控溅射; MoS2-Ti复合薄膜; 结构; 摩擦磨损性能;

D O I：

10.16078/j.tribology.2006.02.019

中图分类号：

TB383.2 [];

学科分类号：

摘要：

采用非平衡磁控溅射法制备出不同Ti含量的MoS2-Ti复合薄膜并对其结构进行表征,采用显微硬度仪测量MoS2-Ti复合薄膜的显微硬度,在球-盘摩擦磨损试验机上评价其在大气中的摩擦磨损性能.结果表明:不同Ti含量的MoS2-Ti复合薄膜呈岛状生长模式,断面呈致密细柱状,结晶状态均为无定形态;薄膜的显微硬度随Ti含量增加而升高;MoS2-Ti复合薄膜在大气中的摩擦磨损性能优于MoS2薄膜,掺杂适当Ti可以使MoS2-Ti复合薄膜的摩擦曲线波动减小,耐磨寿命提高,在本试验研究范围内,含30%Ti复合薄膜的耐磨寿命最长,当Ti掺杂量达到50%时MoS2-Ti复合薄膜失去润滑性能.

引用

页码：183 / 187

页数：5

共 4 条

[1] 空间摩擦学的机遇和挑战 [J].

翁立军 ;

刘维民 ;

孙嘉奕 ;

薛群基 .

摩擦学学报, 2005, (01) :92-95

[2] MoS2基共溅射薄膜摩擦学性能的研究 [J].

孙晓军 ;

汪晓萍 ;

孙嘉奕 ;

李陇旭 ;

翁立军 ;

于德洋 .

摩擦学学报, 1998, (01) :21-25

[3] 二硫化钼溅射膜在潮湿空气中贮存后润滑性能的退化与失效机理 [J].

王均安，于德洋，欧阳锦林 .

摩擦学学报, 1994, (01) :25-32

[4]

The tribological properties of MoS2 metal composite coatings deposited by closed field magnetron sputtering .2 Teer D G,Hampshire J,Fox V,et al. Surf Coat Tech . 1997

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