硅悬臂梁的理论和应用

被引:1
作者
朱秀文
机构
[1] 天津大学电子系
关键词
悬臂梁模型; 电子器件; 极化电压; 谐振频率; 硅悬臂梁;
D O I
10.13290/j.cnki.bdtjs.1986.03.019
中图分类号
学科分类号
摘要
本文简要描述以硅作为材料的各种悬臂梁的制造和应用,给出悬臂梁机械谐振频率的表达式。以一种简化的模型,详细分析悬臂梁的电学、机械性能,从而阐明悬臂梁阈电压的概念,导出悬臂梁的极化电压和阈电压之间的关系,以及梁的实际机械谐振频率和极化电压之间关系的表达式。
引用
收藏
页码:46 / 51
页数:6
相关论文
empty
未找到相关数据