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硅悬臂梁的理论和应用
被引:1
作者
:
论文数:
引用数:
h-index:
机构:
朱秀文
机构
:
[1]
天津大学电子系
来源
:
半导体技术
|
1986年
/ 03期
关键词
:
悬臂梁模型;
电子器件;
极化电压;
谐振频率;
硅悬臂梁;
D O I
:
10.13290/j.cnki.bdtjs.1986.03.019
中图分类号
:
学科分类号
:
摘要
:
本文简要描述以硅作为材料的各种悬臂梁的制造和应用,给出悬臂梁机械谐振频率的表达式。以一种简化的模型,详细分析悬臂梁的电学、机械性能,从而阐明悬臂梁阈电压的概念,导出悬臂梁的极化电压和阈电压之间的关系,以及梁的实际机械谐振频率和极化电压之间关系的表达式。
引用
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页码:46 / 51
页数:6
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