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[1]
物理光学[M]. 电子工业出版社 , 廖延彪 编, 1986
基于MOEMS技术的一种F-P光开关的设计与制作
被引：6
作者：
徐杨
吴霁虹
刘理天
陈兢
董良
机构：
[1] 清华大学微电子学研究所
[2] 清华大学微电子学研究所 北京
[3] 北京
来源：
关键词：
F-P腔;
光开关;
MOEMS;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN253 [光纤元件];
学科分类号：
0702 ;
070207 ;
摘要：
研制了一种用于 WDM光通信系统的多层介质膜 Fabry- Perot腔结构式光开关 ,面积为 1.5 m m× 1.5 m m.光开关采用多层复合膜消除内应力 ,防止产生过度变形 ;中心的十字复合梁有利于提高机械灵敏度 ,降低驱动电压 .体硅腐蚀出的硅杯既减小了光开关的插损 ,又便于端面输入输出光纤的精确对准与固定 ,有效降低封装成本 .制成的开关转换电压为 2 0 V,关态隔离度为 87% ,开态插损为 0 .15 d B.其结构和工艺简单 ,易于与 IC工艺相结合形成规模生产 ,如增加膜的层数便能制成基于 F- P干涉仪结构的滤波器 .
引用
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页数：6
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