使用激光跟踪仪测量研磨阶段离轴非球面面形

被引：13

作者：

李杰 ^{[1
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伍凡 ^{[1
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吴时彬 ^{[1
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匡龙 ^{[1
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林常青 ^{[1
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机构：

[1] 中国科学院光电技术研究所

[2] 中国科学院研究生院

来源：

光学学报 | 2012年 / 32卷 / 01期

关键词：

测量; 面形检测; 离轴非球面; 激光跟踪仪; 研磨;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH744.5 [];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

为满足离轴非球面镜在光学检验前的面形检测需求,对使用激光跟踪仪测量离轴非球面的方法进行了研究。详细介绍了使用激光跟踪仪测量离轴非球面的检测步骤及数据处理方法。使用激光跟踪仪对一处于研磨阶段的口径为150mm,顶点曲率半径为1200mm,离轴量为240mm的离轴抛物面镜进行了测量,进行了测量不确定度分析并与三坐标测量机的测量结果进行了比对。结果显示激光跟踪仪与三坐标测量机的面形测量峰-谷值一致性优于1μm。分析及实验结果表明此检测方法简单易行,灵活通用,适用于离轴非球面抛光前的面形检测。

引用

页码：116 / 120

页数：5