p-Si上电沉积Ni-W-P薄膜的结构与热稳定性

被引：3

作者：

李爱昌

张国庆

刘冰

机构：

[1] 廊坊师范专科学校化学系

[2] 天津大学应用化学系

来源：

关键词：

p－Si，电沉积Ni－W－P薄膜，结构，热稳定性;

D O I：

暂无

中图分类号：

TQ153 [电镀工业];

学科分类号：

0817 ;

摘要：

研究了ｐ－Ｓｉ上恒电流沉积Ｎｉ－Ｗ－Ｐ合金薄膜组成与结构的关系，讨论了镀层的组成、结构随沉积时间的变化．测定了非晶合金的晶体结构随热处理温度的改变以及ＤＴＡ曲线，结果表明，非晶Ｎｉ－Ｗ－Ｐ合金在晶化过程中形成两个纳米超微晶相，非晶Ｎｉ－Ｗ－Ｐ薄膜的热稳定性远高于通常使用的非晶Ｎｉ－Ｐ薄膜．

引用

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