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新型大面积电磁表面波等离子体源
被引：4
作者：
吴丛凤
朱晓东
武帅
詹如娟
机构：
[1] 中国科技大学近代物理系
[2] 中国科技大学高等研究院
来源：
关键词：
电子温度,电磁表面波,等离子体源;
D O I：
10.16568/j.0254-6086.1999.02.007
中图分类号：
TL629.1 [];
学科分类号：
摘要：
研制了一种新型电磁表面波等离子体源，并对其参数和特性进行了实验研究。实验结果表明，该源在２３０Ｐａ以下的气压范围内成功地产生了直径在１６０ｍｍ以上、电子密度达１０１０－１０１１ｃｍ－３、电子温度只有几电子伏特的大面积均匀等离子体柱，适合于大面积、大体积的等离子体应用
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