微机械加速度传感器及应用

被引：21

作者：

石庚辰

机构：

[1] 北京理工大学机电工程系北京

来源：

测控技术 | 2003年 / 03期

关键词：

微机电系统; 微加速度传感器;

D O I：

10.19708/j.ckjs.2003.03.002

中图分类号：

TP212.1 [物理传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

叙述了各种微机械加速度传感器的工作原理、特点、研究现状及发展趋势。

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