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直线电机微位移机构的控制
被引：9
作者：
刘金凌
王先逵
机构：
[1] 清华大学
来源：
关键词：
直线电机;
微位移机构;
高频响;
D O I：
暂无
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学科分类号：
摘要：
介绍了一种以自行研制的直流直线电机为执行元件的微位移机构系统组成、工作原理和控制器的设计。
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