大行程纳米二维工作台的动态优化设计

被引：9

作者：

余晓芬

程伶俐

胡佳文

余卿

机构：

[1] 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院

来源：

电子测量与仪器学报 | 2010年 / 24卷 / 03期

关键词：

动态优化设计; 圆筒型永磁直线同步电机; 纳米工作台;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH703.65 [];

学科分类号：

摘要：

为了减小直线电机的电磁推力波动,保证绕线动子与永磁定子有足够的偏心量,对大行程纳米二维位移工作台进行了动态优化设计研究。基于振动理论建立了工作台与上层板系统的动力学模型,并以此模型分析了工作台动力响应与上层板厚的关系,给出了优化设计结果。对工作台进行了全行程定位实验,实验结果表明,工作台可以在0～100mm范围内,实现10nm定位分辨率的快速、高精度定位,满足纳米测量的要求。

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页码：289 / 293

页数：5

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