纳米分辨率微动台机械结构动态特性的研究

被引：1

作者：

吴一辉，王立鼎，李路明，刘立新

机构：

[1] 中科院长春光机所

来源：

基金：

国家攀登计划;

关键词：

微动台; 结构动态特性; 分辨率; 鉴别率; 纳米;

D O I：

10.19650/j.cnki.cjsi.1996.s1.040

中图分类号：

TH122 [机械设计];

学科分类号：

摘要：

本文用状态空间法对柔性铰链一体式ｘ—ｙ微动台的动力学系统进行了描述，建立起该系统的振动参数模型，从理论和实验两方面对系统的非参数模型进行了分析和结算，并对理想特征系统的实现问题进行了初步探讨。

引用

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