变栅距衍射光栅的原理及应用

被引：31

作者：

时轮

郝德阜

机构：

[1] 吉林工学院机电学院!吉林长春

[2] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所!吉林长春

来源：

光学精密工程 | 2001年 / 03期

关键词：

变栅距; 衍射光栅; 像差校正; 应用;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH744 [物理光学仪器];

学科分类号：

摘要：

变栅距衍射光栅 (VLS)在像差校正等方面具有突出优点 ,采用不同的栅距变化规律的变栅距光栅具有不同的光谱特性 ,因而在众多的高技术领域获得了广泛应用。本文从VLS的像差校正原理出发 ,较全面地阐述了VLS在真空紫外和软X射线、高分辨率光电探测器、表面干涉计量以及光纤通讯等领域的应用 ,并针对其技术特点指出了它的发展趋势。

引用

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