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斐索型球面干涉仪移相误差的探讨
被引：4
作者：
黄深旺，陈磊，陈进榜，朱日宏
机构：
[1] 南京理工大学电光分院
来源：
关键词：
移相误差；波面复原误差；三步法；五步法;
D O I：
暂无
中图分类号：
TH744.3 [];
学科分类号：
0803 ;
摘要：
本文对斐索型球面干涉仪的移相原理误差进行了理论推导和计算；应用移相干涉术的三步法和五步法，分析和比较了球面移相误差对波面复原精度的影响，并给出了有关数据和曲线。最后，提出了几种减小球面测量误差的措施。
引用
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