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基于线阵CCD阵列的在线检测方法
被引:5
作者
:
周鸿
论文数:
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引用数:
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0
机构:
西安交通大学机械学院激光与红外应用研究所
周鸿
赵宏
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0
机构:
西安交通大学机械学院激光与红外应用研究所
赵宏
机构
:
[1]
西安交通大学机械学院激光与红外应用研究所
[2]
西安交通大学机械学院激光与红外应用研究所 陕西 西安
[3]
陕西 西安
来源
:
半导体技术
|
2001年
/ 11期
关键词
:
线阵CCD;
扫描;
在线检测;
相移法;
三维轮廓;
D O I
:
10.13290/j.cnki.bdtjs.2001.11.001
中图分类号
:
TP274.5 [];
学科分类号
:
0804 ;
080401 ;
080402 ;
081002 ;
0835 ;
摘要
:
利用矩形光栅离焦投影,产生正弦光场,通过三个严格排列的线阵 CCD阵列对物体三维轮廓进行扫描采样测量,一次扫描就可以获得三幅相位图。利用三步相移技术即可解调高度信息,避免测量过程中的相移操作。本文重点讨论了该方法的原理和特点,并给出试验简图及实际测量结果。
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