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评价光学显微镜象质的新方法
被引：1
作者：
杨健
王之江
机构：
[1] 中国科学院上海光学精密机械研究所
来源：
关键词：
成象系统;
部分相干;
关系曲线;
均方差;
波面;
成像系统;
标志变异指标;
点扩散函数;
光学显微镜;
光学转移函数;
光学传递函数;
象差;
球差;
离焦;
D O I：
暂无
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学科分类号：
摘要：
<正> 一、引言 象质评价是个比较古老的课题,自19世纪以来,人们提出了许多象质评价方法,如点分辨、瑞利四分之一波差判据、Airy斑中心点亮度、波面均方差以及光学传递函数等。这些方法都是在分析非相干成象过程中产生的,然而本文讨论的对象——光学显微镜——是部分相干成象系统;能否将上述象质评价参数用于相干或部分相干成象系统,这是个值得讨论的问题.以光学传递函数为例,它要求成象系统对光强是线性的,而部分相干成象则不满足此条件。另外,波面均方差是否最佳地反映了波面质量的优劣,是否在积分式中应加一个权重函
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