微机械静电伺服加速度计

被引：8

作者：

彭勃

何晓平

苏伟

机构：

[1] 中国工程物理研究院电子工程研究所!四川绵阳

来源：

关键词：

静电伺服; 加速度计; 微弱信号检测; 阳极键合;

D O I：

10.13695/j.cnki.12-1222/o3.2000.01.014

中图分类号：

V241.45 [];

学科分类号：

08 ; 0825 ;

摘要：

本文详细介绍了微机械静电伺服加速度计的系统工作原理、结构和线路设计特点 ,并对其封装样品作了简要的叙述。给出了用于± 4g,线性度小于 2 % ,分辨率低于 5× 1 0 - 3g的微加速度计实验结果。

引用

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