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半导体激光干涉仪在微振动测量中的应用
被引：6
作者：
钱瑞海
孟迎军
机构：
[1] 南京理工大学光电子技术教研室
来源：
关键词：
半导体激光器,干涉仪,微振动传感器;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN248.4,TN248.4 [];
学科分类号：
0803 ;
080401 ;
080901 ;
摘要：
文中介绍一种用半导体激光器构建小型迈克尔逊干涉仪实现对微振动量精确测量的方法，实验证明，这种方法完全可以实现。用这种方法构建的微振动传感器体积小、质量轻、价格便宜并具有很高的灵敏度和准确度
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