CCD细分技术用于刻线的自动瞄准

被引：5

作者：

乔瑞军

沈忙作

机构：

[1] 中国科学院光电技术研究所

来源：

光电工程 | 1999年 / 01期

关键词：

CCD探测器，图象处理，精密刻划，精密定位;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH74 [光学仪器];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

用面阵ＣＣＤ对刻线进行二维瞄准定位，具有精度高，速度快的优点。本文介绍了亚象素细分定位的原理，瞄准精度的测量方法，以及所能达到的精度。

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共 2 条

[1] 阵列探测器的像点亚像素定位精度 [J].

陈邓云 ;

沈忙作 .

光学学报, 1993, (10) :952-955

[2]

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