基于微机电系统技术的投影型微光学编码器

被引：8

作者：

李以贵

远藤哲生

羽根一博

机构：

[1] 上海交通大学微纳米技术研究院,日本东北大学机械电子系,日本东北大学机械电子系上海,日本仙台市,,日本仙台市,

来源：

光学学报 | 2003年 / 08期

关键词：

微型光机电系统; 投影型编码器; 光栅成像;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH741 [光学计量仪器];

学科分类号：

摘要：

对投影型微光学编码器的原理进行了分析 ,结合微机电系统集成技术 ,提出并实现了投影型微光学编码器。它是利用微机电系统集成技术将标尺光栅、指示光栅、光电二极管集成化构成投影型光栅微编码器。它具有体积小、光路调整容易的特点。实验结果表明 ,利用微细加工制作微光学编码器是完全可行的。该器件较之传统的光学编码器在经济性及小型化等方面具有非常明显的优势

引用

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