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三维形貌检测的自动参考栅象法研究
被引：5
作者：
徐建强
王蕴珊
机构：
[1] 山东工业大学数理系
来源：
关键词：
傅里叶变换；三维形貌测量；参考栅;
D O I：
暂无
中图分类号：
O439 [应用光学];
学科分类号：
摘要：
本文提出了一种用于曲面形貌检测的傅里叶变换法中的参考栅象图的自动产生及误差修正方法，通过对实际测量图象的处理，证明该方法具有很好的使用效果，从而大大提高了傅里叶变换法检测曲面形貌的精度和实用性
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