基于灵敏度及层次分析法的键合头多目标结构优化

被引:7
作者
宫文峰 [1 ,2 ]
黄美发 [2 ]
张美玲 [1 ]
莫秋云 [1 ]
机构
[1] 桂林电子科技大学海洋信息工程学院
[2] 桂林电子科技大学广西先进设计与制造技术重点实验室
关键词
倒装键合头; 动态特性; 模态实验; 参数灵敏度; 层次分析法; 多目标优化;
D O I
10.13465/j.cnki.jvs.2015.16.022
中图分类号
TN405 [制造工艺];
学科分类号
140103 [集成电路制造工程];
摘要
为满足保证键合头动态特性、避免共振条件下达到结构轻量化设计要求,提出基于灵敏度计算参数优选及基于层次分析法最优解提取相结合的多目标优化设计方法。通过有限元仿真计算与模态实验结合研究键合头动态特性验证有限元模型精度。针对拾取臂部件设计参数进行灵敏度分析并提取优化设计变量。用多目标遗传优化算法对拾取臂以一阶固有频率、结构质量为目标优化计算,用层次分析法优选出最佳优化方案。结果表明,优化后拾取臂一阶固有频率提高27.1%,结构质量减轻8.9%,且键合头已避开共振频段达到设计要求。该研究方法具有较高的精度及应用价值。
引用
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