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用补偿器测量非球面的研究
被引：16
作者：
张忠玉
余景池
机构：
[1] 中国科学院长春光学精密机械研究所
来源：
关键词：
零补偿器,非球面,光学检测;
D O I：
暂无
中图分类号：
TG806 [技术测量方法];
学科分类号：
0805 ;
摘要：
重点讨论用零补偿器测量光学非球面表面面形精度的方法，并通过补偿器的光学设计，具体分析了各参数要素对测量精度的影响，最后给出在非球面数控加工不同阶段中对直径５００ｍｍ，ｆ／２的双曲面主镜的检测结果。
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页码：126 / 130
页数：5
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