Ce掺杂对SnO2薄膜电学及气敏性能的影响

被引：11

作者：

方国家

刘祖黎

张增常

王昕玮

姚凯伦

机构：

[1] 华中理工大学物理系

来源：

中国稀土学报 | 1997年 / 01期

关键词：

稀土，铈掺杂，SnO2薄膜，气敏性能，溶胶凝胶工艺;

D O I：

暂无

中图分类号：

O614.432 [];

学科分类号：

070301 ; 081704 ;

摘要：

以无机盐ＳｎＣｌ２·２Ｈ２Ｏ、（ＮＨ４）３Ｃｅ（ＮＯ３）６为原料，无水乙醇为溶剂，采用溶胶凝胶工艺制备了纯ＳｎＯ２及ＳｎＯ２∶Ｃｅ薄膜。研究了ＳｎＯ２∶Ｃｅ薄膜的热分解晶化过程和Ｃｅ掺杂对ＳｎＯ２薄膜电学及气敏性能的影响，发现ＳｎＯ２∶Ｃｅ薄膜在常温下对Ｈ２Ｓ气体具有较好的气敏性能，对ＳｎＯ２∶Ｃｅ薄膜的结构进行了表征

引用

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